微型化浪潮席卷而来，芯片技术不断突破物理极限，向更小、更微型、更集成的方向迈进。这并非偶然，而是由微

型化带来的诸多优势所驱动的，包括更低的成本、更优的性能、更高效的资源利用、更robust的安全性和更绿色的环保

特性。在这一背景下，微纳加工学科（Micromachining）应运而生，它借鉴集成电路和计算机芯片的制造工艺，将大型

芯片逐渐微型化。这一学科融合了物理、化学、材料、生物等多领域的知识，形成了一个全新的交叉学科领域。

　　在微纳加工学科的引领下，单位面积或单位空间内的芯片集成度实现了质的飞跃，使得系统更加智能、更加集成、

功能更加强大。这预示着一场新的工业革命即将到来，一场以集成化和系统化为特征的革命。

　　微流控芯片的智造与创生-实验室诊断设备涂层技术

　　在这一系统集成的过程中，微机电系统（MEMS）的概念应运而生。MEMS将众多芯片高密度地集成于微小空间内，

赋予其电学和机械性能，从而构建出具有复杂功能的系统。MEMS是一门高度交叉的综合性学科，融合了微加工技术、机

械学/固体声波理论、热流理论、电子学、生物学等多个领域。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米（人类头发直径约

为50微米）。

　　如此微小且功能高度集成的装置是如何被创造出来的呢？MEMS的制造大量借鉴了集成电路中的光刻、刻蚀以及镀膜等

工艺。其中，光刻是整个微加工流程中技术难度最大、最为关键的一步。光刻技术利用光能进行纳米级精度的刻蚀，涉及光

敏感材料、掩模板和曝光系统等关键要素。

　　光刻胶作为一种光敏感材料，在曝光后会发生特性改变，从而实现刻蚀，因此也被称为光致抗蚀剂。它是微电子技术中

实现微细图形加工的关键材料之一，主要应用于电子工业和印刷工业。光刻胶分为正胶和负胶：正胶在曝光后，受光照部分

变得易于溶解，经显影后溶解，留下未受光照部分形成图形；负胶则相反，曝光后受光照部分变得不易溶解，显影后留下光

照部分形成图形。掩模板上刻有精细的图案，通过光线的透过，将图案转移到光刻胶上。曝光系统则负责提供各种光强和

波长的光源。光刻工艺是微加工领域的一大挑战，包括光刻胶工艺、掩模板加工工艺和曝光系统工艺。光刻工艺的发展也

催生了著名的摩尔定律。摩尔定律由英特尔创始人之一戈登·摩尔（GordonMoore）提出，其内容为：当价格不变时，集成

电路上可容纳的元器件数目，约每隔18～24个月便会增加一倍，性能也将提升一倍。换言之，每一美元所能买到的电脑性能，

将每隔18～24个月翻一倍以上。这一定律揭示了信息技术进步的速度。尽管这种趋势已经持续超过半个世纪，摩尔定律仍被

认为是观测或推测，而不是一个物理或自然法。摩尔定律表明了集成系统越来越小，性能越来越高的趋势。MEMS则可以通

过光刻技术实现性能提升。

　　微芯片已在众多领域展现其重要性，如人工授精技术、微型齿轮加工技术等。那么，持续微型化的芯片还能做什么呢？

以下是一些典型的MEMS应用实例。

　　微镊子：作为MEMS领域的经典应用，微镊子能够精确操作细胞，提高细胞活性。在实际应用中，例如人工授精技术，

微镊子可以提高精子活性，提升辅助生殖过程的准确率和成功率。

　　微齿轮：微型齿轮加工技术使得机械部件更小、更轻便，从而降低能耗，提升机械效率。

　　微机器人：微机器人驱动技术通过电压控制材料形状的变化，实现微小移动机器人的爬行和驱动。这些技术的应用与创新

为相关领域带来了重要突破。

　　微针：微针技术可以制作出细针密布的微针创可贴，避免传统粗针注射带来的痛苦。此外，微针还可以作为传感器，实时

监测身体性能指标，提供补水和休息的提示。微针系统在治疗和检测方面具有广泛的应用前景。

　　仿生传感器：通过模仿蒲公英的结构，仿生传感器在检测大气物质和进行胃肠镜检查方面展现出巨大优势。该系统能够实

现无线传输信号和拍照，使人类作业更加方便和安全。

　　超声波薄膜喷涂设备一款工业级喷涂设备，满足中小批量的生产需求。采用国家专利超声波喷涂技术，用于制备均匀致密

的薄膜涂层以及应用于喷雾热解领域。并可配备单套或多套喷头系统。可定制化的方案灵活应用于不同行业、不同领域。被广泛

应用于能源行业、纳米行业、微电子行业、半导体行业、玻璃镀膜行业等。

　　适用于研发及小批量生产

　　桌面型紧凑设备，易于移动

　　原料利用率可达95%

　　涂层均一且稳定，均匀度±5%

　　有效喷涂面积:200mmX200mm