三氯化铟超声喷涂锌:工艺、机理与应用研究摘要三氯化铟(InCl₃)作为重要的铟源前驱体,在超声喷涂技术中展现出独特的应用价值。本文系统阐述了以三氯化铟为前驱体、锌基材料为基底的超声喷涂工艺,分析了超声雾化机理、工艺参数对薄膜质量的影响,以及该技术在透明导电氧化物薄膜制备中的应用前景。研究表明,超声喷涂技术凭借其高均匀度、高原料利用率及精确的厚度控制能力,为三氯化铟在锌基基底上的沉积提供了理想的技术平台。关键词:三氯化铟;超声喷涂;锌;透明导电薄膜;工艺优化一、引言随着光电器件和新能源技术的快速发