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超声波喷涂机喷涂光刻胶至玻璃上

时间:2025-08-26     【原创】

  超声波喷涂机是一种利用超声波振动产生雾化效果的喷涂设备,适用于小批量生产和科学研究实验室定性试验。

在喷涂光刻胶至玻璃上的过程中,超声波喷涂机可以提供均匀高效的薄膜涂层。


  超声波喷涂技术在微机电系统晶圆和其他3D微结构上直接喷涂光刻胶涂层方面显示出优势,尤其是在高纵横比

沟槽和V形槽结构的侧壁顶部,能够实现更加均匀的涂层沉积。此外,超声波喷涂设备具有高稳定性、节材环保、高

可控性等特点,适用于多种溶液的雾化喷涂,包括光刻胶。

          超声喷涂仪260E主图-12.jpg

  半导体制造:在半导体芯片的制造过程中,玻璃常被用作晶圆的载体或封装材料。通过超声波喷涂机在玻璃上喷

涂光刻胶,可以为半导体芯片的光刻工艺提供高质量的光刻胶涂层,用于制作电路图案等。


  超声波喷涂机喷涂光刻胶至玻璃上


  光学器件制造:例如制造光学透镜、滤光片等器件时,需要在玻璃表面涂覆光刻胶进行光刻工艺,以形成特定的光

学结构或图案。超声波喷涂技术可以满足光学器件对光刻胶涂层的高精度要求。


  微机电系统制造:微机电系统器件通常具有微小的结构和复杂的形貌,对光刻胶的涂覆要求很高。超声波喷涂机能够

在微机电系统器件的玻璃基底上均匀地喷涂光刻胶,为后续的微加工工艺提供良好的基础。


  超声波喷涂技术在光刻胶涂覆领域提供了高效、精确且环保的解决方案,对于现代电子和半导体行业的发展具有重要意义。


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