喷雾热解与超声波喷雾热解技术在透明导电氧化物薄膜制备中的应用 透明导电氧化物(TCO)薄膜是薄膜太阳能电池堆叠结构中的关键功能层之一。无论是在铜铟镓硒(CIGS)、碲化镉(CdTe)还是钙钛矿太阳能电池中,TCO层都承担着收集光生载流子并同时保证高透光率的重要任务。为了实现高效的光电转换,TCO薄膜需要兼具优良的导电性和宽光谱范围的高透明度,这对材料的组分、晶体结构以及制备工艺提出了严格的要求。 在众多TCO薄膜制备方法中,喷雾热解技术因其设备简单、成本可控、易于调控掺杂等优势,在研发和小规模生产环境中得到