喷涂法总览：

　　喷涂机同样是自动化沉积薄膜的一种方式。该设备中，需要将沉积溶液从液流形态转变为雾态，随后喷在目标基底上。基于其精密和多样性设计，喷涂设备的应用非常广泛，从片状基底上的超薄薄膜，例如

　　用于触摸屏的透明电极，到太阳能电池组件和半导体光刻胶等。

　　喷涂方法介绍：

　　喷涂方法总的来说可以划分为三类，

　　1、压缩空气喷涂系统。

　　2、超声喷涂系统。

　　3、静电喷涂系统。

　　1、压缩空气喷涂系统（Airspraysystems）：

　　A为喷涂口，B为沉积雾气，C为通过气流振荡实现自动雾化

　　压缩空气喷涂系统是通过压缩空气，从而将需要沉积的溶液液流变为细小的雾珠，随后喷涂在目标基底上。它的原理和典型空气喷枪基本类似。

　　压缩空气给溶液液流施加高压，使其从喷口一泄而出，携带有空气的液体会在高速运动下发生碰撞。此时，液流会被分散开来，此时由于空气的存在，液滴的速度会下降，变成雾珠，随后沉积在目标基底上。

　　空气喷涂系统总体来说，需要分散大量液流，因此会造成材料的浪费。但是，该设备可以设计的非常精密，且具有多种变化。例如，一些系统通过使用特殊喷涂，可将溶液液流细化成

　　特别细的雾珠，从而在不平坦的薄膜上也能沉积出均匀的薄膜，于此同时还能稳定地高速作业。其他的系统可以具备非常先进的位移控制系统和自动化平台以及喷嘴。根据产品的所需面积，需求效率和应用目的，该设备能进行多样化的生产设计。

　　2、超声喷涂系统(Ultrasonicspraysystems)：

　　A为芯片层（自动化的表面），B为沉积溶液，C为超声震动设备，D为细微，均匀液滴（自动化产生）

　　超声喷涂系统需要再喷嘴的末端装备一个芯片层（用于自动化表面）。其中通过震动产生超声波，从而引起液流分布在芯片层的表面，并变成褶皱形状。

　　当超声输出的功率超过溶液的表面张力，液流会变成细小雾珠状从表面掉落。因为该系统制备出细小且均匀的液珠，因此在有限范围内其可实现超均匀薄膜的构筑。该方法的另一个优势是材料浪费比较少，这是因为该系统几乎不需要分散或者溅射大量的溶液。

　　根据应用的目的和材料，喷口的长度，尺寸和形状都可以设计挑选。沉积薄膜的厚度可以通过液流速度和震动频率调控，从而实现均匀薄膜沉积。

　　该系统一般应用在电子器件中的绝缘层和导电层制备，以及半导体光刻技术，硬性基底沉积，

　　防眩光薄膜沉积，疏水和疏油材料沉积等。

　　3、静电喷涂系统（Electrospray）：

　　在静电喷涂系统中，通过在喷口处输入几千伏的高压，将液流带上电荷。此时，由于静电斥力的作用，液流会变化成细小的雾珠状。之后，雾珠会亲附落到到连接地场的基底上。该系统可以用于各种粘度的溶液，甚至糊状，泥浆状，以及包含填充料的溶液。同样能在不平坦的基底上沉积均匀薄膜。

　　该方法中，几乎所有的溶液都可以沉积在基底上，因此该方法的效率是要远超普通的空气压缩法和旋涂法，从而降低生产成本。