超声波喷涂技术已被证明能够成功沉积薄膜太阳能电池涂层，包括抗反射层、TCO涂层、缓冲层涂层、PEDOT

涂层以及薄膜和钙钛矿太阳能电池制造中的活性层。OPV、CIG、CdTE、CzT、钙钛矿和DSC等溶液和悬浮液均可

使用超声波湿法喷涂技术沉积，用于制造薄膜太阳能电池。超声波雾化喷嘴系统的成本仅为CVD和溅射设备的一小

部分，可降低薄膜太阳能电池的每瓦成本，同时仍能保持较高的电池效率。

　　超声波喷涂机的成本仅为溅射和化学气相沉积(CVD)设备的小部分，其许多系统均用于钙钛矿喷涂和其他薄膜

太阳能制造应用的研发。超声波喷涂技术作为一种可行的方法，正不断获得认可，可用于扩大薄膜太阳能的生产规

模，实现更大尺寸和更大规模的生产。超声波喷涂在将成熟的研发工艺转化为适用于多种层级和类型太阳能电池技

术以及薄膜太阳能电池涂层的大批量生产方面发挥着重要作用。

　　活性层ActiveLayers

　　OPV

　　Perovskite

　　CIGS

　　CdTe

　　CZTS

　　DSC

　　量子点QuantumDots

　　纳米晶体半导体点含有锌、铅、镉、硒等元素。超声波喷涂的优势包括：大幅降低初始投资设备成本；喷涂过程中

悬浮颗粒的解聚；成熟的可扩展生产解决方案，可通过在线处理实现从研发到量产的改变；以及大于95%的利用效率，

从而减少昂贵原材料的消耗。

　　缓冲层/或有机层Bufferand/orOrganicLayers

　　超声波涂层设备用于的典型材料：

　　CdS——CIGS、CDTe电池中常用的缓冲层

　　有机细胞聚合物–PEDOT、PCBM、P3HT、P3HD

　　TCO

　　TCO（透明导电氧化物）由溶解在溶液中的金属组成，具有高导电性和透明性。有时在高温下进行热解反应，通常

需要在约500℃的高温退火。需要高温的TCO层通常采用喷雾热解技术进行涂覆。

　　超声波设备用于：

　　ITO

　　ZnO(DopedwithGa,Al,In)

　　CdO

　　SnO2

　　碳纳米管/银纳米线(AGNW)/石墨烯CNTs/SilverNanowires(AGNW)/Graphene

　　碳纳米管因其丰富的原料、优异的静摩擦性能和极高的导电性，有望取代透明导电氧化物(TCO)层中的ITO。超声波喷

嘴在雾化过程中能够有效分散颗粒，从而为沉积此类纳米材料提供了极大的优势。超声波振动可使颗粒在溶液中均匀分布。