一、工艺原理

　　超声涂布是利用高频超声波（通常为20–120kHz）的机械振动，将前驱体溶液雾化成微米级液滴（粒径通

常在1–50μm范围内），并通过载气（如氮气、氩气等惰性气体）定向输送至基底表面，最终沉积形成均匀薄膜

的技术。其核心优势包括：

　　–高精度均匀性：液滴尺寸分布窄，可实现薄膜厚度变化控制在±5%以内，尤其适用于钙钛矿、透明导电

氧化物（TCO）等对均匀性敏感的前驱体溶液。

　　–高材料利用率：雾化液滴精准定向沉积，过喷浪费显著降低，前驱体利用率通常可达90%以上（传统高

压喷涂约为50%）。

　　–温和处理特性：超声能量分散温和，对溶液中活性成分（如纳米颗粒、催化剂等）损伤小，适用于热敏

或易团聚体系。

　　二、关键操作步骤

　　1.前驱体溶液的制备与优化

　　–溶液配制：

　　根据目标材料（如钙钛矿、金属氧化物、导电聚合物等）的化学组成，选择合适的溶剂体系（如醇类、极性

有机溶剂等）和溶质浓度。前驱体需充分溶解或分散，避免沉淀或团聚。

　　–粘度与表面张力调控：

　　超声雾化对溶液粘度（通常要求≤50mPa·s）和表面张力敏感。过高粘度会导致雾化困难或喷嘴堵塞；过低

粘度可能引起液滴流淌或涂层不均匀。可通过调整溶剂比例、添加适量分散剂（如TritonX-100）或流变改性剂

优化溶液流变性。

　　–固含量控制：

　　浆料固含量需平衡雾化效果与涂层性能。固含量过高（如＞15wt%）易导致粘度激增、喷嘴堵塞；过低

（如＜5wt%）则可能造成溶质迁移或团聚，推荐范围为8–12wt%（针对催化剂、电极材料等典型体系）。

　　超声涂布前驱体溶液-前驱体溶液雾化成微米级液滴

　　2.基底预处理

　　–清洁与活化：

　　基底（如玻璃、硅片、金属集流体、碳材料等）需彻底去除油污、灰尘及氧化物。常用方法包括：有机溶剂

（乙醇、丙酮）超声清洗、去离子水冲洗、氮气吹干，或进一步通过等离子体处理提升表面亲水性，增强涂层附着力。

　　3.超声涂布设备设置

　　–喷头参数：

　　喷头包含超声换能器和雾化喷嘴，需根据溶液特性选择合适的超声频率（40–120kHz常见）和功率。高频

（如120kHz）有助于破碎团聚体、细化液滴；功率需匹配溶液流量与雾化效率，避免空化过度导致喷头腐蚀或浆料污染。

　　–喷头位置与移动：

　　喷头与基底间距通常保持在数厘米至数十厘米范围内（典型值约50mm±），间距过大可能导致液滴过度干燥

或沉积不均；喷头移动速度需与溶液流量、雾化速率匹配，确保均匀覆盖（速度公式参考：`V=0.27×Q/W`，其

中`Q`为流量，`W`为喷道宽度）。

　　–载气与环境控制：

　　惰性载气（如氮气）用于引导雾滴定向沉积，并调节雾流形态。气压通常维持在0.01–0.2MPa（约0.1–2bar）

范围内，过低可能导致液滴扩散不良，过高易引起飞溅或涂层缺陷。同时需控制环境湿度（推荐45%±5%）以减

少静电吸附或溶剂挥发问题。

　　4.沉积与干燥工艺

　　–多层薄层沉积：

　　采用多次薄涂（multiplepasses）替代单次厚涂，每层干燥后再叠加，可显著提升厚度均匀性和结构致密性。

例如电池电极、光电器件薄膜常需此策略避免开裂或成分偏析。

　　–梯度温度干燥：

　　基底可预热至60–80°C（或更高温度结合热解），分阶段控制溶剂挥发速率。底层干燥温度较低（延缓裂纹），

中层加速溶剂蒸发锁定溶质，表层降低热应力收缩率，避免涂层龟裂或剥落。

　　三、工艺优化与常见问题解决

　　1.参数协同调整

　　–超声频率与功率：高频（如120kHz）更适合分散团聚体，配合适中功率可减少铂等贵金属催化剂的团聚现象；

低粘度溶液可选较低频率（如40kHz）以维持雾化稳定性。

　　–流量与速度匹配：溶液流量需与喷头移动速度严格匹配，避免局部堆积或漏涂。典型流量范围为0.1–2mL/min

（实验室规模）至更高工业级流量，结合公式计算合理速度。

　　2.缺陷预防与应对

　　–咖啡环效应（边缘堆积）：通常由雾化气压不足（液滴粒径＞80μm）或溶剂挥发不均引起，可通过提高雾

化压力至0.8–1.2bar、优化基底温度梯度或使用表面活性剂抑制。

　　–针孔或飞溅：气压过高、喷头过近或溶液粘度过低可能导致液滴撞击飞溅，需降低载气压强、增大喷头间

距或微调溶液配方。

　　–团聚或涂层不均：前驱体未充分分散、超声能量不足或环境湿度异常（静电吸附）时易出现，可优化分

散工艺、增强超声功率或改善环境控制（如湿度调节、基底接地）。

　　3.材料与体系适配

　　–敏感前驱体保护：对空气/湿度敏感的材料（如钙钛矿、硫化物）需在惰性气氛手套箱或封闭腔体内操作，

减少溶剂暴露风险。

　　–复杂基材适应性：多孔基底（如碳毡、泡沫镍）需更高载气流速渗透微孔，或通过优化喷头角度提升

三维覆盖均匀性；柔性材料需避免喷头机械应力损伤，优先采用悬空雾化沉积。

　　四、适用场景与优势领域

　　超声涂布广泛应用于对精度、均匀性和材料利用率要求极高的领域：

　　–能源材料：锂电池电极（正负极活性层）、燃料电池催化层（超低铂载量优化）、太阳能电池透明导电膜

（FTO改性）及钙钛矿光吸收层。

　　–功能涂层：电子器件保护层、传感器敏感膜、生物医用抗菌/防污涂层（纺织品、医疗器械）、热电器件复

合材料等。

　　–纳米结构制备：通过“微反应器效应”在雾化液滴内实现原位反应，适用于超细粉体、量子点或核壳结构前驱

体的可控合成沉积。

　　五、实验室与工业操作注意事项

　　–安全防护：操作有机溶剂或前驱体时需配备通风橱、防护手套与护目镜；超声设备避免长时间

空载运行以防损坏。

　　–设备维护：定期清洁喷头与管路防止堵塞；检查超声换能器表面空蚀损伤（钛合金探头工作＞2小时建议停

机检测），必要时更换耐磨材质（如蓝宝石喷头）。

　　–方案验证：新工艺或新材料应用前，建议通过小规模试喷+显微镜/膜厚仪检测评估液滴形态、覆盖效果及

缺陷，逐步优化参数窗口。

　　总结

　　超声涂布是一种高效、可控的薄膜制备技术，其核心在于前驱体溶液特性与超声参数（频率、功率）、载气系统

及基底处理的协同优化。通过精准调控微米级雾滴沉积、温和能量输入及惰性环境工艺，可显著提升各类敏感材料

（尤其是昂贵或易团聚体系）的涂布质量与经济性。关键在于根据具体材料需求系统调整粘度、固含量、温度梯度及

雾化条件，同时注重多层沉积、环境控制等细节以规避常见缺陷，最终实现高性能薄膜的可靠制备。