在当今光伏技术与先进电子器件的制造领域，薄膜沉积工艺的性能与成本直接决定了最终产品的市场竞争力。

以溅射为代表的传统真空沉积技术，长期以来被广泛用于制备多种薄膜太阳能电池的功能层，例如金属电极、

透明导电氧化物以及部分吸收层。然而，这类真空工艺设备本身造价高昂，且通常采用批次式运行模式，不仅

限制了产能的提升，也在面对新型材料体系（如钙钛矿、有机半导体或新型复合物）时显得调整不够灵活。

为了应对这一挑战，超声喷雾涂覆技术正作为一种极具成本效益的替代或补充方案，逐渐进入规模化生产的

视野，尤其在处理基于溶液工艺的功能层——特别是钙钛矿活性层以及多种材料混合的叠层结构——时展现

出显著优势。

传统真空沉积的局限性与工艺转型需求

首先，我们需要理解为何行业正在积极寻找真空沉积的替代路线。溅射或化学气相沉积（CVD）设备需要维持

极高的真空度，这意味着昂贵的真空腔体、复杂的抽气系统、高能耗的运行维护以及洁净室环境。这些设备不仅

初始投资动辄数千万元，而且每批次生产前后都需要进行抽真空、破真空、清洗腔体等步骤，导致生产节奏被

割裂为不连续的批次。对于研发或小批量生产阶段需要频繁调整工艺参数、更换靶材或前驱体配方的团队而言，

真空设备的高惯性使得实验周期大大延长。例如，当开发新一代钙钛矿材料时，需要改变组分比例或溶剂体系，

但真空设备中的靶材或气源更换往往耗时数天，这直接阻碍了从实验室研发到中试线的高效转移。

超声喷雾涂覆的技术原理与成本优势

相比之下，超声喷雾涂覆采用完全不同的物理机制。该技术利用高频超声波振动将溶液前驱体雾化为微米级甚至

亚微米级的小液滴，然后通过载气将雾化流均匀输送到加热的基板表面，溶剂迅速挥发后形成致密的固体薄膜。

由于整个过程在常压或接近常压的惰性气氛中进行，完全不需要昂贵的真空系统，设备投资成本可降低一个数量

级以上。同时，超声喷雾可以实现连续式的在线生产——基板以卷对卷或线性传输方式连续通过喷涂工位，薄膜

不断沉积，中间无需等待抽真空或破真空，从而将生产节拍从“分钟/批次”转变为“米/分钟”的连续流。这种

连续性不仅大幅提高了单位时间的产出，还避免了批次间因真空环境波动造成的质量差异。

更高的材料利用率与每瓦成本下降

在材料利用效率方面，超声喷雾同样表现突出。溅射过程中，靶材原子被高能离子轰击出来，但只有部分朝向基板

方向沉积，其余会飞向腔壁或挡板，材料利用率通常仅为30%~50%。而超声喷雾的液滴在气流引导下几乎全部落

在基板有效区域内，配合精确的喷雾轨迹设计，材料利用率可达90%以上。对于使用昂贵前驱体（如某些稀有金属

盐或有机配体）的钙钛矿层而言，这种效率提升直接转化为每瓦制造成本的显著下降。此外，超声喷雾还允许使用

非常稀的溶液或高粘度墨水，无需像真空工艺那样对靶材纯度、密度或气体纯度提出极端苛刻的要求，进一步降低了

原料门槛和供应链成本。

快速配方调整与研发生产无缝衔接

最令研发工程师兴奋的优势在于超声喷雾的工艺灵活性。当需要探索新的钙钛矿组分、溶剂体系或添加剂时，只需

更换喷雾溶液并调整喷嘴的超声功率、液体流速、载气流量和基板温度等少数几个参数，通常在几分钟内即可完成

配方切换并开始新的沉积试验。这对比真空溅射需要开腔、更换靶材、重新抽真空的漫长流程，简直是天壤之别。

因此，许多初创企业和研究团队选择在实验室阶段先用超声喷雾快速筛选材料，然后直接将该工艺原样放大到中试

线乃至量产线上，因为超声喷雾的流体动力学和传质过程在不同宽度喷嘴和基板尺寸下具有良好的线性可放大性。

这种从研发到生产的快速转移能力，大大缩短了新型太阳能电池技术的商业化周期。

在钙钛矿与叠层电池中的典型应用

具体到薄膜光伏领域，钙钛矿活性层对溶剂、热和湿度非常敏感，传统的溅射沉积往往会造成离子轰击损伤或热应力，

而超声喷雾属于“软沉积”方式，液滴轻柔接触表面，不破坏下层结构。因此，在制备正式或反式钙钛矿电池的

空穴传输层、钙钛矿本征层以及电子传输层时，超声喷雾都已被验证能够获得均匀、结晶良好的薄膜。对于更复杂的

钙钛矿/硅叠层电池或全钙钛矿叠层电池，需要在大尺寸绒面或粗糙表面上共形覆盖多层不同材料，超声喷雾凭借其

非视线沉积特性（液滴可随气流绕流）以及良好的台阶覆盖能力，成为真空溅射难以替代的理想工艺。不少制造厂

商已经将溅射用于金属电极或透明电极，同时将超声喷雾用于钙钛矿吸光层和部分界面修饰层，形成“真空+非真空”

的混合工艺路线，既保留了传统技术的高质量电极优势，又获得了低成本、连续化制备活性层的收益。

总结与展望

超声喷雾涂覆技术并非旨在完全取代所有真空沉积工艺，而是针对溶液可加工的功能层——尤其是钙钛矿和混合叠

层结构——提供了一种成本效益显著、连续化生产、材料利用率高且工艺调整极其灵活的替代或补充方案。制造商

采用这一技术的主要原因可以归纳为四点：相较于溅射或化学气相沉积，设备投资与运行成本大幅降低；支持在线

连续式加工，摆脱了真空批次循环的低效束缚；前驱体材料利用率高，有效降低了每瓦制造成本；配方调整便捷，

研发参数可直接转移至生产线，极大加速了新型光伏技术的产业化进程。随着钙钛矿太阳能电池逐步迈向吉瓦级

规模生产，超声喷雾有望成为核心沉积手段之一，推动清洁能源制造走向更经济、更高效、更灵活的未来。