微机电系统(MEMS,即MicroElectro-MechanicalSystems)工艺,是一种面向纳米至微米尺度的微结构制造技术。它源于半导体与微电子工艺体系,融合了光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、离子注入、溅射、蒸镀、刻蚀、划片及封装等多种现代加工手段,核心是通过微加工方式制造复杂三维形体,本质上实现了电学与机械系统的微型化集成。这一工艺不仅广泛支撑着各类微器件的研发制造,更推动了技术领域向微型化、集成化与智能化方向突破,为多个行业带来了变革性影响。 技术优势 作为这一工艺的代表性应用成果,微机电系统微镜(即MEMS